


LH1002雙頻激光器采用聲光移頻技術,頻差穩定無漂移。
支持6m/s高速測量,光強利用率高,兼容光刻機標準。
兼具高穩頻與快預熱特性,適用于實驗室標定及嚴苛工業現場。
LH1002雙頻激光器
LH1002雙頻激光器采用聲光移頻技術,頻差穩定性高,不受溫度與磁場影響,實現長期無漂移測量。出光功率0.5~1.2mW,正交線偏振無需額外起偏,非線性誤差小。
多軸分光后光強低至10%仍可穩定采集,支持靈活擴展多鏡組測量。波長穩定性優異、預熱快,兼顧計量標定與復雜工業現場,適用于實驗室及嚴苛環境。
產品特點
雙頻頻差:20 MHz ±1600 Hz
光斑直徑:3/6mm
工作波長:632.99nm
穩頻精度: ±0.02ppm
設備兼容光刻機干涉儀標準安裝尺寸與
通用數據接口;
測速能力突出,極限測速約 6m/s,適
配高速直線電機、晶圓臺動態檢測;
頻差由AOM晶振控制,不受激光管溫度、磁場影響,頻差穩定性高,長期測量無頻漂
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