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激光干涉儀

LH1002雙頻激光器

產品描述:

LH1002雙頻激光器采用聲光移頻技術,頻差穩定無漂移。

支持6m/s高速測量,光強利用率高,兼容光刻機標準。

兼具高穩頻與快預熱特性,適用于實驗室標定及嚴苛工業現場。


服務熱線:4008168900
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LH1002雙頻激光器

LH1002雙頻激光器采用聲光移頻技術,頻差穩定性高,不受溫度與磁場影響,實現長期無漂移測量。出光功率0.5~1.2mW,正交線偏振無需額外起偏,非線性誤差小。

多軸分光后光強低至10%仍可穩定采集,支持靈活擴展多鏡組測量。波長穩定性優異、預熱快,兼顧計量標定與復雜工業現場,適用于實驗室及嚴苛環境。


產品特點

  • 雙頻頻差:20 MHz ±1600 Hz

  • 光斑直徑:3/6mm

  • 工作波長:632.99nm

  • 穩頻精度: ±0.02ppm

  • 設備兼容光刻機干涉儀標準安裝尺寸與

      通用數據接口;

  • 測速能力突出,極限測速約 6m/s,適

      配高速直線電機、晶圓臺動態檢測;

  • 頻差由AOM晶振控制,不受激光管溫度、磁場影響,頻差穩定性高,長期測量無頻漂

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